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序號

水質(zhì)項(xiàng)目

一級高純水指標(biāo)

二級高純水指標(biāo)

1

電阻率（25℃）MΩ·cm

≥15

≥10

2

電導(dǎo)率，μs/cm

0.05

0.1

3

PH值

6.8～7.2

6.6～7.4

4

細(xì)菌總數(shù)，個(gè)/mL

＜3

＜9

5

微粒（直徑＞0.5μm，粒/mL）

＜150

＜300

6

二氧化硅

＜10

＜20

7

有機(jī)物（以COD計(jì)）

＜0.3

＜0.5

8

鈉 Na

＜0.5

＜2

9

鐵 Fe

＜1

＜2

10

銅 Cu

＜0.5

＜1

11

鈣 Ca

＜1

＜3

12

鎂 Mg

＜0.2

＜1

13

鋅 Zn

＜0.5

＜1

14

錳 Mn

＜0.2

＜0.5